微波材料學(xué)工作站--微波能化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

主要用途：
主要為應(yīng)用在半導(dǎo)體, 大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料，石墨烯、納米材料、碳纖維、碳化硅、
鍍膜等新材料新工藝領(lǐng)域

產(chǎn)品特點(diǎn)：
★操作便捷：氣路連接方式采用了KF快速連接法蘭結(jié)構(gòu)，使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，
   方便操作，取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程，減少了安裝造成的損壞
★多功能：3種加熱方式可選可變：純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱；適應(yīng)包括金屬與合金在內(nèi)非易燃的任何樣品的熱處理
★開發(fā)的微波場專用傳感器，精準(zhǔn)控溫
★安全：采用防止泄漏的四級聯(lián)鎖的保護(hù)屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔體設(shè)計(jì)，多重防泄漏保護(hù)
*標(biāo)配裝有專業(yè)微波抑制器
*內(nèi)置微波泄漏傳感器
★節(jié)能：使用壽命長：磁控管微波加熱，避免和解決了傳統(tǒng)的加熱絲、硅碳棒、硅鉬棒等加熱元件容易損壞的問題，
    也避免了因加熱元件
損壞而造成的時(shí)間、實(shí)驗(yàn)進(jìn)度、維修費(fèi)用等各種損失
★采用無級可調(diào)、高穩(wěn)定度長壽命、連續(xù)波微波源，確保設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定長時(shí)間運(yùn)行
★嵌入式微機(jī)一體化溫度控制系統(tǒng)；實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性控溫
★無須烘爐過程：爐腔整體自身發(fā)熱，加熱均勻
★微波能量即開即有,無熱慣性,易于控制溫度
★爐體配有自動冷卻風(fēng)扇
★保護(hù)管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝簡便
★配有萬向輪調(diào)節(jié)底腳，方便移動和固定

選配功能：
1.多溫區(qū)獨(dú)立加熱模塊：型號后面加Ｄ　　　
◆多個(gè)不同溫區(qū)獨(dú)立加熱、獨(dú)立控制，（標(biāo)配 2 個(gè)溫區(qū)）
◆兩個(gè)以上溫區(qū)可額外選配
◆通常用于高溫下氣相或揮發(fā)分參與的材料合成
◆加熱區(qū)、恒溫區(qū)長度均可調(diào)。
2.可根據(jù)用戶需求定制立式或其他尺寸

技術(shù)參數(shù)：

型號/model	WBQXCJ-4
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
功率/ KW(連續(xù)、可調(diào))	4
樣品腔尺寸/mm	標(biāo)配Φ45mm；長度 1200mm?？筛鶕?jù)用戶需求定制
樣品腔(材質(zhì))	石英管	剛玉管
控溫范圍/℃	室溫-1200℃	室溫-1500℃
溫度測試元件	微波場專用傳感器
溫度分辨率/℃	0.1
控溫精度/℃	1200℃以下±1；1200℃以上±2℃
溫度偏差/℃
溫度穩(wěn)定波動度/℃
冷卻方式	標(biāo)配風(fēng)冷（可選配水冷）
恒溫區(qū)長度/mm	標(biāo)配100    可根據(jù)用戶需求定制
升溫速率(標(biāo)配)	0～200℃/min 任意設(shè)定，可編程、分段加熱
溫度控制方式	10段可設(shè)工藝參數(shù)，7寸觸摸屏操作，帶數(shù)據(jù)存儲功能；提供手動、自動、恒溫控制模式，曲線實(shí)時(shí)顯示
控制氣體	控制氣體：H2、CH4、Ar、N 2 、其它氣體可選
流量控制	標(biāo)配 2 套質(zhì)量流量控制器：七星華創(chuàng)（真空保護(hù)閥門后置，匹配真空模式）；精度：0.8%
耐壓	1MPa；控制響應(yīng)時(shí)間：10ms
真空系統(tǒng)真空泵	RVP2008；壓力范圍：10 -3 Torr~760 Torr 抽速：8.5 m 3/h
真空計(jì)	數(shù)顯真空計(jì)：1atm-10 -1 Pa
標(biāo)配	質(zhì)量流量自動控制系統(tǒng)配備控制計(jì)算機(jī)及控制軟件，可以內(nèi)置實(shí)時(shí)顯示和保存生長參數(shù)
氣路其他配置	氣柜、氣路及閥門等
端口	不銹鋼 KF50 法蘭接口
電源電壓（V）	220
微波泄漏量/mW/㎝2	≤0.4
外型尺寸（長´寬´高）/mm	1500×750×1550