詳細(xì)介紹
貨號:Aubat-A253/30nm
參數(shù):
直徑約φ25mm
P+V(圓度)≤30nm
廠家:奧本精密
我公司生產(chǎn)的25mm標(biāo)準(zhǔn)半球(檢測校準(zhǔn)球),其精度參數(shù)符合泰勒.霍普森LUPHOScan系列非接觸式3D表面精密檢測儀(非接觸式表面輪廓測量儀)的測量需求。國產(chǎn)高精度納米級參數(shù)可媲美進(jìn)口,客戶信賴 復(fù)購率高。
了解非接觸式表面輪廓測量儀:
LUPHOScan: 適用于各種類型光學(xué)表面的非接觸式計量
*的3D光學(xué)計量儀器 ,**測量非球面、衍射面和自由曲面等多種光學(xué)工件,可測量口徑高達(dá) ?850mm;用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面(光學(xué)器件)進(jìn)行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。該輪廓儀的主要優(yōu)點包括測量速度快,對一些特殊的表面形狀(如平頂或帶有拐點的輪廓)具有高度靈活性。
測量原理
當(dāng)被測光學(xué)鏡面旋轉(zhuǎn)時,光學(xué)測頭同時跟蹤著被側(cè)件的理論設(shè)計輪廓移動,進(jìn)而形成在整個測量面法線方向上的螺旋式掃描。這種技術(shù)能夠測量幾乎所有類型的光學(xué)面。
測量技術(shù)特點:
高度精Q
? 能精Q測量面形誤差且具備高度可重復(fù)性,面形誤差
精度可高達(dá)< λ/20 (PV99) 和 ≥5nmRMS*
測量范圍大靈活性
? 測量口徑范圍可從5mm 到 850mm,測量高度范圍到210mm
高密度測量點
? 測量點數(shù)高達(dá)600萬,以用于**測量和分析大口徑的中頻面形誤差
自由曲面的檢測
? 對回轉(zhuǎn)非對稱面可測量整個園周的*大斜度變化到±8° (徑向斜度到90°)
幾乎能測量所有的材料
? 透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面
以提高測量精度和重復(fù)再現(xiàn)性精度為前提的優(yōu)化技術(shù)
花崗巖參考支架? 采用材質(zhì)分布均勻的花崗巖為計量參考支架,外加通過優(yōu)化設(shè)計確保熱膨脹誤差的準(zhǔn)確補(bǔ)償,從而將振動造成的測量誤差減到*小。
測量環(huán)境條件變化的實時誤差補(bǔ)償
? 四個溫度變化測量傳感器和一個氣壓變化傳感器
測量系統(tǒng)噪音極低,精度*高
? 采用TMC設(shè)計 的主動抗振系統(tǒng),以獲得*佳隔振測量環(huán)境
自動調(diào)心調(diào)平
? 全自動測量,提供極為穩(wěn)定而**的測量
結(jié)果
計量方法:
使用一個有效口徑為220mm的球形設(shè)計工件進(jìn)行研究測試。將球形工件放在儀器的旋轉(zhuǎn)平臺上,首先將工件軸與轉(zhuǎn)臺軸對正進(jìn)行測量,然后再平移一定的距離進(jìn)行離軸球面的測量。 這種使用一個偏離軸10mm的球面來代表自由曲面的測試方法,其優(yōu)點是可以直接將測試結(jié)果與已知面形誤差的精加工球面進(jìn)行比較。
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