JJF(蘇)261-2023光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范

超光滑樣板

參數(shù)：表面粗糙度值 (Sa)1nm，

校準(zhǔn)項(xiàng)目：測(cè)量噪聲；

一維柵格/二維柵格

柵格平均間距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2；

柵格平均間距(5~20)um Urel≦1%,k=2;

垂直角度 MPE:±0.1°

XY 方向長(zhǎng)度測(cè)量誤差、重復(fù)性、正交誤差；

光學(xué)顯微干涉式三維表面形貌測(cè)量是一種利用光學(xué)干涉原理對(duì)樣品表面三維形貌進(jìn)行精密測(cè)量的儀器，在樣品表面垂直方向上可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨力，廣泛應(yīng)用于材料、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。大多數(shù)情況下，測(cè)量?jī)x使用白光作為光源，故也被稱作白光干涉儀。

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