合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭（HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭）

產(chǎn)品概述：

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭

特征：

· 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作

· 采用電磁場的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場強(qiáng)度和均強(qiáng)場分布

· 磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命

· 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配

· 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作

更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度

所需功率：

• DC（大）1000W
• RF（大）500W

大濺射電流：3A

濺射電壓：100-1000V

濺射時腔體真空度：5-100 mTorr

尺寸：

• 陽極護(hù)套直徑：3.5英寸
• 總長度：14英寸

靶材：

• 直徑:2.0英寸(50.8mm)
• 厚度:對于非磁性靶材，大厚度為1/8英寸
  對于磁性靶材，大厚度為1/16英寸
• 靶材利用率：30%
• 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水：

• 流速:0.8 GPM
• 進(jìn)水溫度:<20 ℃
• 水管:0.25" OD.

可選配件：

· 當(dāng)同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭

· 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸

循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L

公司簡介：
森瑪特儀器（北京）有限公司由一群有著共同愿景的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備銷售服務(wù)人員創(chuàng)建，秉承“共享共贏”的經(jīng)營理念。旨在成為中國實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備行業(yè)專業(yè)技術(shù)和服務(wù)。從銷售團(tuán)隊(duì)、運(yùn)營團(tuán)隊(duì)、市場團(tuán)隊(duì)、產(chǎn)品支持到售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，全部受過系統(tǒng)的高等教育、嚴(yán)格的產(chǎn)品技術(shù)和優(yōu)良的服務(wù)意識的培訓(xùn)。我們能夠?yàn)榭蛻籼峁﹥?yōu)質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室全套解決方案。
森瑪特服務(wù)于國內(nèi)眾多國內(nèi)外企業(yè)的研究與發(fā)展機(jī)構(gòu)、重大科學(xué)研究和試驗(yàn)發(fā)展項(xiàng)目、食品安全體系等?？蛻羧后w遍及高?？蒲泻蛧鴥?nèi)外企業(yè)。主營產(chǎn)品涉及于生命科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測、材料科學(xué)、食品安全、理化研究等眾多領(lǐng)域。
森瑪特儀器-中國好儀器，為客戶提供好儀器，服務(wù)中國客戶，同時為客戶提供電子商務(wù)服務(wù)和網(wǎng)上技術(shù)咨詢服務(wù)。我們的承諾是：以合理的價格，過硬的質(zhì)量，快捷的貨期及售前咨詢、售中指導(dǎo)、售后服務(wù)，在為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的同時，讓您充分感受到現(xiàn)代工業(yè)給您帶來的方便和震撼。我們將堅(jiān)持不懈地探索創(chuàng)新，注重新產(chǎn)品品質(zhì)，為客戶供應(yīng)更多的新產(chǎn)品。竭誠歡迎與各界同仁，有志之士進(jìn)行廣泛的友好合作，實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢互補(bǔ)，雙贏共享！