合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

產(chǎn)品概述：

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合的頻率測量技術(shù)，進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

• 主要特點：
  本機可與計算機連接。
• 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
• 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
• 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設(shè)置，并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。
• 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。

EQ-TM106-1監(jiān)測組件：

• 電源：DC5V（±10%），大電流400mA
• 頻率分辨率：±0.03Hz
• 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
• 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度
• 測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置
• 測量范圍：500000Å（鋁）
• 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz
• 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗：無）
• 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出）
• 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
• 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀：

• 輸入電源：AC 220V±10%
• 輸出電源：DC 5V 3A
• 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED
• 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位 　，奇偶校驗：無）
• 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭：

• 適用晶片頻率：6MHz
• 適用晶片尺寸：Φ14mm
• 安裝法蘭：CF35
• 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm
• 冷卻水壓：<0.3MPa
• 氣動擋板路管：Φ3mm

壓縮空氣壓力：烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃

電氣接口：BCN插座

標(biāo)準(zhǔn)配件：1EQ-TM106-1監(jiān)測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個