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氫氣爐

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更新時間:2026-01-16 15:32:21瀏覽次數(shù):143

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產(chǎn)品簡介

該設備主要是用于半導體材料、納米材料、光線材料等在氫氣保護下的各種復雜工藝,具有多種工藝氣體的流量控制。是科研、數(shù)學、生產(chǎn)、新材料研發(fā)的重要設備

詳細介紹

氫氣爐

設備簡介:

氫氣爐用工業(yè)微機對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓庫和實現(xiàn)自動控制。采用進口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)控制、穩(wěn)定性高。采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門確保氣路氣密性。具有*的報警功能及安全互鎖裝置。具有良好的人機界面,靈活的工藝性能。

主要技術參數(shù):

氫氣爐的控制精度:±1℃,工作溫度:800-1700℃,溫度均勻性:±5℃,保護氣體:H2、N2。*大真空度:-0.1Mpa,爐膛尺寸:160×166馬蹄形管(可定制),電網(wǎng)電壓:380V±10%,*大功率:≤80KW,爐門、進出料口材質(zhì):310不銹鋼。冷卻系統(tǒng)分置:出料口及加熱爐體兩側(cè)微電腦控制,操作方便,可編程,自動升溫,自動保溫,自動降溫。報警功能:超溫報警、斷水報警、斷電保護,溫控方式:自動/手動。進料方式:電動/手動,可通多種氣體(氧氣、氮氣、氬氣、氫氣等)。


備注:可選配系統(tǒng):1、自動泄壓進氣系統(tǒng);2、混氣供氣系統(tǒng);3、真空機組;4、USB接口,無紙記錄儀,隨機打印系統(tǒng);5、坩堝;6、進口1900型材料


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