吉時(shí)利KEITHLEY的霍爾效應(yīng)與范德堡測試方法。方案一:2400/2600系列高精度源表+高低溫平臺+范德堡爾法則終端轉(zhuǎn)換器；方案二：6221電流源+7001多路開關(guān)控制器+2182A納伏表。測量所有半導(dǎo)體材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可測量)I-V曲線及I-R曲線，實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度 (Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度 (Sheet Carrier Concentration)、遷移率 (Mobility)、電阻率 (Resistivity)、霍爾系數(shù) (Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/ Horizontal ratio of resistance) 等。

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