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詳細(xì)介紹
極限壓力: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
抽氣速率 50 Hz: 70 - 7385 m³/h
抽氣速率 60 Hz: 85 - 7385 m³/h
COBRA Semicon 干式螺桿真空泵為工藝嚴(yán)苛的半導(dǎo)體、太陽能、平板顯示器生產(chǎn)及鍍膜行業(yè)提供有效的解決方案。
高效可靠
COBRA Semicon 螺桿真空泵配有高效電機(jī)，因此可提供的節(jié)能效果。強(qiáng)勁、可靠、低維護(hù)的 COBRA Semicon 真空泵緣于其簡單的設(shè)計(jì)結(jié)合 Busch 成熟的螺桿技術(shù)（可選擇額外的直通法蘭羅茨真空泵）。
應(yīng)用導(dǎo)向
COBRA Semicon 螺桿真空泵有多種型號(hào)，廣泛適用于各類工藝操作。緊湊型設(shè)計(jì)簡化了安裝過程，即使在較狹小的空間也能輕松安裝。此系列真空泵擁有同等級(jí)中的抽速，可提供的通氣量（甚至是氫氣）及增強(qiáng)的顆粒耐受力。
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