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熱管理對(duì)于化學(xué)干式螺桿真空泵的可靠運(yùn)行至關(guān)重要。

在對(duì)于給定過程而言過冷的泵中，腐蝕性蒸汽可能會(huì)凝結(jié)，從而導(dǎo)致腐蝕、潤(rùn)滑劑稀釋和密封件膨脹。這種損害很嚴(yán)重，但只有在允許蒸氣凝結(jié)成液相的情況下才會(huì)發(fā)生。

相反，如果泵的工作溫度對(duì)于給定的過程而言過高，則可能會(huì)發(fā)生不必要的反應(yīng)，例如聚合或自燃，并增加軸承溫度或發(fā)生熱咬合。 

上面提到的各種影響可以通過內(nèi)部涂層稍微減輕，但是不能依靠這種方法。涂層在初始存儲(chǔ)和系統(tǒng)調(diào)試期間起到了很好的保護(hù)泵的作用，但是它們只能在泵大部分時(shí)間使用的溫度和真空度下存活很長(zhǎng)時(shí)間。

關(guān)鍵是要確保過程蒸汽保持在下圖中的氣相 [綠色區(qū)域]。確保這種情況發(fā)生的一些策略包括對(duì)泵冷卻劑的溫度/流量加以控制，使用氮?dú)獯祾邅砀淖児に嚶饵c(diǎn)，以及使用進(jìn)口冷凝器去除泵上游的蒸汽。  

為了進(jìn)一步提高系統(tǒng)存在挑戰(zhàn)時(shí)的可靠性，可以向泵系統(tǒng)添加其他功能以幫助保證可靠性。一個(gè)例子是溶劑沖洗系統(tǒng)，以保持泵送機(jī)構(gòu)通暢清潔。另一個(gè)是除渣罐 和過濾器，用于捕獲無法避免出現(xiàn)的液體或粉末團(tuán)塊。