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測(cè)量顯微鏡107JPC

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測(cè)量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門(mén)。測(cè)量顯微鏡107JPC是光、機(jī)、電一體化的高科技精密測(cè)量?jī)x器

詳細(xì)介紹

測(cè)量顯微鏡107JPC
一、用途:
測(cè)量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門(mén)。
在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測(cè)量尺,數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測(cè)量。測(cè)量顯微鏡107JPC是光、機(jī)、電一體化的高科技精密測(cè)量?jī)x器。
二、技術(shù)規(guī)格
鏡筒
粗   動(dòng)
調(diào)節(jié)范圍 90毫米
微   動(dòng)
調(diào)節(jié)范圍 2毫米
高(Z)測(cè)量
1毫米更小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù))
鏡   筒
雙目鏡筒 俯角45°
工作臺(tái)
左右(X軸)
移動(dòng)范圍50毫米
前后(Y)軸
移動(dòng)范圍50毫米
分 辨 率
1微米
旋   轉(zhuǎn)
360°
照明系統(tǒng)
光源
透射照明
8V-15W 藍(lán)、綠濾色片
反射照明
8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片
斜照明
8V-15W
電  源
AC 220V±10% 50/60HZ
光學(xué)系統(tǒng)
目  鏡
BWF 10X
物  鏡
4X 工作距離17.5 焦距28.8
10X 工作距離11.6 焦距15.4
40X 工作距離0.66 焦距4.4
107JA測(cè)量顯微鏡采用光柵尺和數(shù)據(jù)箱,并配有計(jì)算機(jī)圖象處理系統(tǒng)。還可選配增加視頻圖像系統(tǒng),在計(jì)算機(jī)屏幕上直接瞄準(zhǔn)。
通過(guò)計(jì)算機(jī)接口和二維測(cè)量程序可使被測(cè)工件的輪廓直接構(gòu)圖在計(jì)算機(jī)屏幕上,由AutoCAD進(jìn)行編輯。
二維測(cè)量程序包括點(diǎn)、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測(cè)量功能。
107JA測(cè)量顯微鏡放大倍數(shù)高,工作臺(tái)除作X,Y坐標(biāo)的移動(dòng)外,還可以作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測(cè)量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還有斜光線照明。

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