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GFC系列 氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間:2023-12-12 11:29:57瀏覽次數(shù):361

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GFC 系列氣體質(zhì)量流量控制器 結(jié)合一個(gè)直線(xiàn)管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來(lái)提供高精度和重復(fù)性。氣體質(zhì)量流量控制器利用一個(gè)電磁閥和PID電子件保持對(duì)傳感器測(cè)量到的信號(hào)的控制來(lái)確定適當(dāng)?shù)牧髁勘嚷?。設(shè)置點(diǎn)能夠通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)電位器或通過(guò)一個(gè)遠(yuǎn)程的0到5VDC或4到20mA模擬信號(hào)來(lái)進(jìn)行調(diào)整。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實(shí)際流量將以工程單位顯示在3位數(shù)字,90°旋轉(zhuǎn)的液晶顯示屏上。

詳細(xì)介紹

GFC 系列氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)合一個(gè)直線(xiàn)管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來(lái)提供高精度和重復(fù)性。氣體質(zhì)量流量控制器利用一個(gè)電磁閥和PID電子件保持對(duì)傳感器測(cè)量到的信號(hào)的控制來(lái)確定適當(dāng)?shù)牧髁勘嚷?。設(shè)置點(diǎn)能夠通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)電位器或通過(guò)一個(gè)遠(yuǎn)程的0到5VDC或4到20mA模擬信號(hào)來(lái)進(jìn)行調(diào)整。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實(shí)際流量將以工程單位顯示在3位數(shù)字,90°旋轉(zhuǎn)的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計(jì)器一起以用于需要測(cè)定流量累計(jì)的場(chǎng)合。GFC系列產(chǎn)品包括一份NIST跟蹤記錄證書(shū)。

型號(hào)

流量范圍

流量控制器

鋁

不銹鋼

0-10 SCCM

GFC-1101

GFC-2101

0-20 SCCM

GFC-1102

GFC-2102

0-50 SCCM

GFC-1103

GFC-2103

0-100 SCCM

GFC-1104

GFC-2104

0-200 SCCM

GFC-1105

GFC-2105

0-500 SCCM

GFC-1106

GFC-2106

0-1 L/min

GFC-1107

GFC-2107

0-2 L/min

GFC-1108

GFC-2108

0-5 L/min

GFC-1109

GFC-2109

0-15 L/min

GFC-1111

GFC-2111

0-30 L/min

GFC-1131

GFC-2131

0-50 L/min

GFC-1133

GFC-2133

0-100 L/min

GFC-1142

GFC-2142

0-200 L/min

GFC-1143

GFC-2143

0-500 L/min

GFC-1144

GFC-2144

0-1000 L/min

GFC-1145

GFC-2145

流量量程是相當(dāng)于氮?dú)庠?span>70°F (21°C) @ 760 毫米汞柱的流量

規(guī)格

介質(zhì):與接液部件兼容的清潔氣體

接液材質(zhì): GFC-1XXX: 陽(yáng)極氧化鋁, 銅, 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈;

GFC-2XXX: 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈

精度: 滿(mǎn)量程時(shí)±1.5%包括線(xiàn)性以上59-77°F(5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)

重復(fù)性: 滿(mǎn)量程的±0.5%

反應(yīng)時(shí)間: 實(shí)際流量的±2%以?xún)?nèi)是2秒

輸出: 線(xiàn)性0-5VDC和4-20mA

微粒尺寸: 5微米

工作溫度: 32-122°F(0-50°C)

電源: ±12VDC/24VDC

過(guò)程連接: 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸;100和200L/m是3/8英寸;500L/m是1/2英寸;1000L/m是3/4英寸

壓力范圍: 500psig(34.5bar)

泄漏率: 氦氣的1 x 10-7 sccs

顯示器: 90°可傾斜,3-1/2數(shù)字

認(rèn)證: CE

附件 (需另行購(gòu)買(mǎi))

GFC系列氣體質(zhì)量流量控制器

型號(hào)GFC-110P,110V電源

型號(hào)GFC-220PE,220V電源

型號(hào)GFC-CBL1,8英尺長(zhǎng)帶有15針連接器的電纜線(xiàn)

型號(hào)GFC-CBL3,3英尺用于LCD讀數(shù)的延長(zhǎng)電纜線(xiàn)

型號(hào)IO-1,0-5VDC的RS232輸入到輸出信號(hào)調(diào)節(jié)裝


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