• 尺寸更小，布局更靈活
  CS-600F 濃度計尺寸緊湊，與成熟型號（CS-100F1 系列）相比，高度降低 36%，體積減少 40%，樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。
  光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝，支持根據(jù)化學(xué)藥液單元和清洗設(shè)備的位置靈活安裝。

• 高溫化學(xué)溶液（20 至 80℃）的高穩(wěn)定性在線測量
  新的光學(xué)系統(tǒng)和改進的處理算法支持在線測量高溫化學(xué)藥液，這是濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學(xué)樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩(wěn)定性高，實現(xiàn)了更有效和準確的化學(xué)藥液管理。

• 背景校正頻率顯著降低
  與成熟型號（CS-100F1系列）相比，定期校正頻率顯著降低，這反過來又顯著減少了機臺停機時間，有助于提高產(chǎn)量。

• 單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液（藥液種類或濃度范圍）
  單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液（藥液種類或濃度范圍）。可自由藥液類型和濃度范圍，CS-600F 保證滿足各種檢測要求。

• 可輸出多達六種組分的測量值（串行輸出）
  成熟型號（CS-100F1 系列）可輸出四種組分的測量值（串行輸出）。CS-600F新型號能以串行輸出方式輸出多達六種組分的測量值。CS-600F型號模擬輸出四種組分，而CS-100F1型號為兩種。

CS-600F光纖型化學(xué)藥液濃度計

CS-600F 提供適合生產(chǎn)的更高級功能，如在各種應(yīng)用中對高溫化學(xué)藥液進行在線測量的能力，減少停機時間的穩(wěn)定運行，以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸，以滿足半導(dǎo)體濕法制程所需的準確化學(xué)藥液濃度管理。

特征：

• 尺寸更小，布局更靈活
  CS-600F 濃度計尺寸緊湊，與成熟型號（CS-100F1 系列）相比，高度降低 36%，體積減少 40%，樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。
  光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝，支持根據(jù)化學(xué)藥液單元和清洗設(shè)備的位置靈活安裝。

• 高溫化學(xué)溶液（20 至 80℃）的高穩(wěn)定性在線測量
  新的光學(xué)系統(tǒng)和改進的處理算法支持在線測量高溫化學(xué)藥液，這是濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學(xué)樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩(wěn)定性高，實現(xiàn)了更有效和準確的化學(xué)藥液管理。

• 背景校正頻率顯著降低
  與成熟型號（CS-100F1系列）相比，定期校正頻率顯著降低，這反過來又顯著減少了機臺停機時間，有助于提高產(chǎn)量。

• 單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液（藥液種類或濃度范圍）
  單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液（藥液種類或濃度范圍）?？勺杂伤幰侯愋秃蜐舛确秶?，CS-600F 保證滿足各種檢測要求。

• 可輸出多達六種組分的測量值（串行輸出）
  成熟型號（CS-100F1 系列）可輸出四種組分的測量值（串行輸出）。CS-600F新型號能以串行輸出方式輸出多達六種組分的測量值。CS-600F型號模擬輸出四種組分，而CS-100F1型號為兩種。