適合控制化學(xué)藥液的單個(gè)成分。

• 實(shí)時(shí)、高性能檢測(cè)多達(dá) 8 種組分
• 無(wú)需試劑，零樣品消耗，降低擁有成本

• 安裝簡(jiǎn)單，即裝即用

CS-700高精度、高穩(wěn)定性化學(xué)藥液濃度計(jì)

HORIBA CS-700 化學(xué)藥液濃度計(jì)能夠?qū)Π雽?dǎo)體制程中使用的復(fù)雜化學(xué)藥液的單個(gè)化學(xué)成分進(jìn)行高性能測(cè)量。

通過改進(jìn) HORIBA 的光譜測(cè)量技術(shù)，CS-700 測(cè)量性能提升高達(dá) 5 倍。
提供增強(qiáng)的質(zhì)量控制，改進(jìn)半導(dǎo)體制程。

適合控制化學(xué)藥液的單個(gè)成分。

• 實(shí)時(shí)、高性能檢測(cè)多達(dá) 8 種組分
• 無(wú)需試劑，零樣品消耗，降低擁有成本

• 安裝簡(jiǎn)單，即裝即用

技術(shù)參數(shù)：

Unit : mass%

Conditions of measurement
1) Measurement interval: approx. 8 sec.
2) Moving average time :10 times
3) Atmospheric temperature, chemical temperature fluctuation: within +/- 1 degree C (period of time: 1hour). Sudden temperature change should be avoided
4) Condition of sample temperature: 20 to 30 degree C

• Repeatability is the maximum deviation from average measured value over a 1 hour continuous measurement period.
• The values in the above table are assigned analog output values between 4 - 20 mA. (makimum resistance of 500Ω)

Specifications Comparison with Previous Model