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LSC 系列緊湊型加熱汽化系統(tǒng)可在無需載氣的情況下進(jìn)行穩(wěn)定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。為方便操作，所有設(shè)備維護(hù)都可以在設(shè)備前端進(jìn)行。

詳細(xì)介紹

大流量氣化
LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的穩(wěn)定氣化
所有設(shè)備維護(hù)都可以在設(shè)備前端進(jìn)行
可選掌上型 PDA 用于監(jiān)控 LSC 的運(yùn)行狀態(tài)，并記錄和分析運(yùn)行日志

LSC 系列緊湊型加熱汽化系統(tǒng)

HORIBA的加熱汽化系統(tǒng)為滿足目前高科技工業(yè)的需求而開發(fā)。LSC 系列緊湊型加熱汽化系統(tǒng)可在無需載氣的情況下進(jìn)行穩(wěn)定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。為方便操作，所有設(shè)備維護(hù)都可以在設(shè)備前端進(jìn)行。

特征：

大流量氣化
LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的穩(wěn)定氣化
所有設(shè)備維護(hù)都可以在設(shè)備前端進(jìn)行
可選掌上型 PDA 用于監(jiān)控 LSC 的運(yùn)行狀態(tài)，并記錄和分析運(yùn)行日志

技術(shù)參數(shù)：


Flow rate generated	H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.)
Operating pressure	Max. 1.33kPa
Source tank volume	2.7L
Heat regulation method	PID control by the heat regulator
Liquid surface detection method	Floating switch
Internal mass flow controller	SEC-8400 series
Air pressure valve	Bellows type
Materials in liquid connection and gas contact area	SUS316L, PFA
Operating Temperature	20 to 35°C
External input	Air pressure valve open/close, mass flow controller flow rate setting signal (0 to 5 V DC/0 to 99% F.S.), emergency stop signal, auto zero signal (option)
External output	Temperature alarm, liquid level H.H. alarm, liquid level signal (H, M, L), READY signal, mass flow controller flow rate output signal ((0 to 5 V DC/0 to 99% F.S.), thermoregulated bath internal fan stop alarm, valve voltage monitor (option)
Power source	AC 100 V, single phase 50/60 Hz, 1.5 kVA
Other	Auto-recharge system: Can be connected to LU series.

* The flow rate control range varies with the type of liquid.
* SCCM and SLM are symbols indicating gas flow rate (mL/min, L/min at 0°C, 101.3 kPa).

外形尺寸：

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日本HORIBA LSC 系列緊湊型加熱汽化系統(tǒng)

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