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詳細(xì)介紹
- 尺寸緊湊
- 可安裝在各種位置
- 的 TEOS 汽化系統(tǒng)
- 結(jié)合 SEF 或 LF，可實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制
- 無需特殊鼓泡罐或汽化罐
- DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
VC 系列直接液體注入系統(tǒng)
VC 系列能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。
HORIBA 可為您提供由 VC 系列和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統(tǒng)：
- 一種用于流量測量的液體質(zhì)量流量計(jì)
- 一種用于蒸氣流量測量的高溫質(zhì)量流量控制器
- 閥門、過濾器、加熱器等
特征：
- 尺寸緊湊
- 可安裝在各種位置
- 的 TEOS 汽化系統(tǒng)
- 結(jié)合 SEF 或 LF，可實(shí)現(xiàn)數(shù)字控制
- 無需特殊鼓泡罐或汽化罐
- DeviceNetTM 型產(chǎn)品系列
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
技術(shù)參數(shù)：
| Model | VC-1420 |
| |
| Flow rate generated*1 (During TEOS generation) | Max. 5.0 CCM conversion (liquid phase conversion) |
| |
| Liquids supported | TEOS, P(OCH3)3, C6F6 | ||
| Temperature rise | Max. 150°C | ||
| Pressure generated*1 | Reduced pressure | ||
| External leak integrity | 1.0x10-8Pa·m3/s | ||
| Internal Leak Integrity | 1.0x10-6Pa·m3/s | ||
| Wetted mateliar | 316L Stainless Steel ( polished surface ) | ||
| Internal heater volume | AC 100V to 120V 70W(35Wx2) | ||
| Temperature sensor used | Thermocouple K type (CA) | ||
| Pressure Resistance | 1.0MPa（G） | ||
| Standard Fitting | Liquid inlet: 1/8 inch VCR type male Gas outlet: 1/4 inch VCR type female |
| |
| *1 Varies depending on the type of liquid. |
| ||
| *CCM is a symbol indicating gas flow rate (mL/min at 25°C, 101.3 kPa). | |||
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