• 高精度 ±1.0% 設(shè)定點
• 高速響應(yīng)
• 超潔凈設(shè)計
• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 一款用于高溫環(huán)境下的質(zhì)量流量控制器

• 高精度和快速的PID響應(yīng)時間

高精度:±1.0% S.P. 響應(yīng)時間:<1.0 秒

• 支持模擬式，數(shù)字式和DeviceNet通訊模式

模擬式和數(shù)字式通訊模式SEC-8000F
DeviceNet通訊模式SEC-8000D

• 超潔凈 : 全金屬結(jié)構(gòu)
• 兼容150℃烘烤 : 耐高溫的特殊流量傳感器和閥部件
• 兼容復(fù)雜工藝 : 多種純凈氣體供給，用于 MOCVD的有機金屬材料，

低氣壓材料，對腐蝕性氣體流量控制的理想選擇。

技術(shù)規(guī)格：