激發(fā)系統(tǒng)

XGT-9000 以其精心設(shè)計(jì)的激發(fā)系統(tǒng)保證性能和靈活性，X射線(xiàn)發(fā)生器具有高達(dá) 50 kV 和 1000 µA 的高輸出。 此外可以通過(guò)我們多樣化的X射線(xiàn)頭提供多種尺寸（10μm - 1.2mm）的激發(fā)用初級(jí) X 射線(xiàn)，其中就包括超高強(qiáng)度X射線(xiàn)頭（probe），以實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量。

光學(xué)圖像

抓取清晰的圖像對(duì)于微區(qū)XRF至關(guān)重要，XGT-9000 提供高分辨率相機(jī)，可以獲取整個(gè)樣品及其細(xì)節(jié)顯微鏡水平的圖像。同時(shí)，多種照明模式保證圖像的清晰度，即便是透明或有較強(qiáng)反射的樣品。

樣品倉(cāng)

XGT-9000 樣品倉(cāng)可容納各種樣品，包括微型碎片、印刷電路板、硬幣、薄片、粉末、液體、晶圓，并根據(jù)需求提供各種樣品架，此外最多可以選擇 4 種測(cè)量環(huán)境來(lái)提高靈敏度。

檢測(cè)器

XGT 9000提供透射和熒光X射線(xiàn)雙探測(cè)器，透射X射線(xiàn)檢測(cè)器使用戶(hù)能夠檢測(cè)樣品的內(nèi)部缺陷和異物，而熒光X射線(xiàn)檢測(cè)器（配置輕元素檢測(cè)器）檢測(cè)范圍可從C到Am。

軟件套件

功能*的XGT 9000 軟件，包括全面完整的基本測(cè)試功能，如單點(diǎn)測(cè)試、多點(diǎn)測(cè)試、線(xiàn)分析和Mapping測(cè)試等。除了基本測(cè)試功能外，還可以在軟件套件中添加高級(jí)模塊，以提供更豐富的用戶(hù)體驗(yàn)。

• 多層FPM模塊可以進(jìn)行厚度測(cè)試，有無(wú)標(biāo)樣都可以進(jìn)行
• RoHS檢測(cè)模塊用于RoHS要求的有害元素篩查
• 隊(duì)列模塊自動(dòng)進(jìn)行多區(qū)域自動(dòng)測(cè)試
• 顆粒搜尋模塊可以進(jìn)行顆粒分析以及原位分析
• LabSpec Link模塊，將數(shù)據(jù)導(dǎo)入到LabSpec 6以進(jìn)行多變量分析