光學(xué)系統(tǒng)：

無限遠光學(xué)系統(tǒng),正像型

放大倍率：

50×,100×,200×,500×

廣角目鏡：

WF10×/22mm,帶坐標線

無限遠物鏡：

5×,10×,20×,50×(標配)

物鏡轉(zhuǎn)換器：

六孔滾珠內(nèi)定位,DIC插片座

雙目鏡筒：

傾角30o,瞳距55-75mm屈光度±5D

三目輸出：

全視野同步影像輸出,標準C接頭

測量工作臺：

200*200mm,測量范圍X-Y：50*50mm

旋轉(zhuǎn)工作臺：

Φ120mm,360o旋轉(zhuǎn),游標5′,玻璃平臺Φ75mm

讀數(shù)系統(tǒng)：

精密光柵尺,數(shù)顯表,分辨率0.5μm,RS232輸出

測量精度：

儀器示值誤差±(1+L/25)μm,L－測量長度mm
包括測量誤差和系統(tǒng)誤差/環(huán)境溫度20oC±3oC

調(diào)焦系統(tǒng)：

同軸粗微動,滾珠導(dǎo)軌,升降135mm,微調(diào)2μm
測試件高度≤127mm

反射照明：

同軸落射照明,可調(diào)光LED

透射照明：

非球面聚光鏡,可調(diào)光LED

輸入功率：

AC90-240V/50-60Hz/20W

儀器質(zhì)量：

體積300*430*390mm3,重量35kg