? 光散射粒子計數(shù)器（用于粒徑大于或等于0.5 μm 的懸浮粒子計數(shù)）。

? 空氣中的懸浮粒子在光的照射下產(chǎn)生光散射現(xiàn)象，散射光的強度與懸浮粒子的表面積成正比。

在測試之前，要對潔凈室（區(qū)）相關參數(shù)進行預先測試，這類測試將會提供測試懸浮粒子的環(huán)境條件，這種預先測試或可包括：

a） 溫度和相對濕度的測試。潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應與其生產(chǎn)及工藝要求相適應（無特殊要求時，溫度在18 ℃～26 ℃，相對濕度在45%～65%為宜），同時應滿足測試儀器的使用范圍；

b） 室內(nèi)送風量或風速的測試，或壓差的測試；

c） 高效過濾器的泄漏測試。

? 空態(tài)，靜態(tài)和動態(tài)三種狀態(tài)均可進行測試。

? 空態(tài)或靜態(tài)測試時，室內(nèi)測試人員不得多于2人。

? 測試報告中應標明測試時所采用的狀態(tài)和室內(nèi)的測試人員數(shù)。

? 在空態(tài)或靜態(tài)a測試時，對單向流潔凈室（區(qū)）而言，測試宜在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于10 min 后開始；對非單向流潔凈室（區(qū)），測試宜在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于30 min后開始。

? 在靜態(tài)b測試時，對單向流潔凈室（區(qū)），測試宜在生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過10 min自凈后開始；對非單向流潔凈室（區(qū)），測試宜在生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過 20 min 自凈后開始。

? 在動態(tài)測試時，則須記錄生產(chǎn)開始的時間以及測試時間。

在空態(tài)或靜態(tài)測試時，懸浮粒子采樣點數(shù)目及其布置應力求均勻，并不得少于最少采樣點數(shù)目，采樣點布置規(guī)則見表1。在動態(tài)測試時，懸浮粒子采樣點數(shù)目及其布置應根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)及工藝關鍵操作區(qū)設置。

采樣點的位置應滿足以下要求∶

a） 采樣點一般在離地面0.8 m高度的水平面上均勻布置。

b）采樣點多于5點時，也可以在離地面0.8 m～1.5 m高度的區(qū)域內(nèi)分層布置，但每層不少于5點。

對任何小潔凈室（區(qū)）或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點的數(shù)目不得少于2個，總采樣次數(shù)不得少于5次。每個采樣點的采樣次數(shù)可以多于1次，且不同采樣點的采樣次數(shù)可以不同。

不同潔凈度級別每次最小的采樣量

? 對于單向流潔凈室（區(qū)），粒子計數(shù)器的采樣管口應正對氣流方向；對干非單向流潔凈室（區(qū)）， 粒子計數(shù)器的采樣管口宜向上。

? 布置采樣點時，應盡量避開回風口。

? 采樣時，測試人員應在采樣口的下風側，并盡量少活動。

? 采樣完畢后，宜對粒子計數(shù)器進行自凈。

? 應采取一切措施防止采樣過程的污染。