潔凈室檢測(cè)-電子廠塵埃粒子測(cè)試 GB50472-2008 電子廠房設(shè)計(jì)規(guī)范同GB50073-2013潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范潔凈度的測(cè)試方法一致

潔凈室檢測(cè)-電子廠塵埃粒子測(cè)試潔凈度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1、應(yīng)使用采樣量大于1L／min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器（激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器），應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。

2、最少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算：

N_L＝√A

式中N_L——最少采樣點(diǎn)；

A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。

3、采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度，活動(dòng)高度宜距離地面0.8m;每個(gè)采樣點(diǎn)的最小采樣時(shí)間為1min.

4、每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)至少為2L，采樣量應(yīng)按下式計(jì)算：

Vs={20/ Cn.m}×1000

式中：Vs——每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量，以L表示；當(dāng)Vs很大時(shí)，可使用順序采樣法；
Cn.m——被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(pc/m3)；
20——在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí)，可測(cè)到的粒子顆數(shù)(pc)。
5 、當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

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