風(fēng)速或風(fēng)量、

靜壓差

已安裝的

空氣過濾器泄漏測試

潔凈度

氣流流型目測

溫度

相對濕度

噪聲

照度

自凈時間

電子工業(yè)潔凈廠房

《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472-2008

《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50073-2013
  《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB50591-2010

技術(shù)指標

監(jiān)測項目

1～5

6（1000級）

7（10000級）

8～9

氣流流型

單向流或混合流

非單向流

非單向流

非單向流

平均風(fēng)速 （m/s）

0.20～0.45

—

——

—

換氣次數(shù)（次/h）

—

50～60

15～25

10～15

噪音 空態(tài)

65dB(A)

60dB(A)

60dB(A),

60dB(A)

溫度℃ 濕度%

生產(chǎn)工藝有溫濕度的要求按 生產(chǎn)工藝

生產(chǎn)工藝無溫濕度的要求≤22℃（冬季）~24℃（夏季）

30%~50%（冬季）40%~70%（夏季）

人員凈化及生活用室~18℃（冬季），~28℃（夏季）濕度不做規(guī)定

照度

無采光窗的潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標準值宜為200LX-500LX,輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150LX-300LX

潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7

靜壓差,Pa

不同空氣潔凈度級別的醫(yī)藥潔凈室不應(yīng)小于5Pa，潔凈室與非潔凈室之間的空氣靜壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈室與室外大氣的靜壓差不應(yīng)小于10Pa。

與室外大氣

≥10

不同潔凈級別

≥5

與非潔凈室之間

≥5

相同潔凈級別

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