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太赫茲分辨率板P-TTT-2-1200是專門為表征太赫茲成像系統(tǒng)而開發(fā)的

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太赫茲分辨率板P-TTT-2-1200是專門為表征太赫茲成像系統(tǒng)而開發(fā)的。它具有2μm到8mm橫向尺寸的結(jié)構(gòu)和區(qū)域，適用于標(biāo)準(zhǔn)衍射限制系統(tǒng)以及亞波長分辨率的近場(chǎng)成像系統(tǒng)。

分辨率板的襯底基于高阻硅，包含三種不同傳輸強(qiáng)度的導(dǎo)體區(qū)域，以及傳輸強(qiáng)度的非涂層襯底區(qū)域。典型結(jié)構(gòu)包括三條紋結(jié)構(gòu)正交對(duì)、西門子星型和同心圓等經(jīng)典分辨率測(cè)試結(jié)構(gòu)。這些典型的結(jié)構(gòu)伴隨著進(jìn)一步的結(jié)構(gòu)，特別是用于近場(chǎng)成像的目的，如產(chǎn)生局部場(chǎng)約束的超材料結(jié)構(gòu)。此外，還列出了對(duì)薄板電阻成像和晶圓掃描應(yīng)用有幫助的參考領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：

P-TTT-2-1200	值
襯底材料	High-resistivity FZ silicon, 2-side polished
襯底電阻率	> 10 kOhm cm
目標(biāo)總尺寸	2" x 2" (50 mm x 50 mm)
襯底厚度	525 µm
鍍膜材料	Cr, Au
鍍膜厚度	Cr: 10 nm, 50 nm and 60 nm (in semi-transparent areas) Au: 50 nm (opaque)
三條紋正交對(duì)結(jié)構(gòu)	2 – 1200 µm wide lines & spaces 45° rotated for 2 - 460 µm wide line & spaces
西門子星型	6 mm outer diameter, 18 elements
倒牛頓環(huán)	5.6 mm outer diameter Ring widths from 10 – 500 µm in increasing steps
連續(xù)Rsh參考區(qū)域	Four areas, each 6.7 mm x 8.3 mm
傾斜的金屬光柵區(qū)域	Six areas, each 2 mm x 6.7 mm Tilting angles: 0°, 18°, 36°, 54°, 72°, 90°
蝴蝶結(jié)型陣列超材料	300 µm length, 5µm gap
非對(duì)稱雙狹縫陣列超材料	3 µm and 6 µm slit width and spaces

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太赫茲分辨率板

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