詳細介紹 太赫茲分辨率板P-TTT-2-1200是專門為表征太赫茲成像系統(tǒng)而開發(fā)的。它具有2μm到8mm橫向尺寸的結(jié)構(gòu)和區(qū)域，適用于標(biāo)準(zhǔn)衍射限制系統(tǒng)以及亞波長分辨率的近場成像系統(tǒng)。 分辨率板的襯底基于高阻硅，包含三種不同傳輸強度的導(dǎo)體區(qū)域，以及傳輸強度的非涂層襯底區(qū)域。典型結(jié)構(gòu)包括三條紋結(jié)構(gòu)正交對、西門子星型和同心圓等經(jīng)典分辨率測試結(jié)構(gòu)。這些典型的結(jié)構(gòu)伴隨著進一步的結(jié)構(gòu)，特別是用于近場成像的目的，如產(chǎn)生局部場約束的超材料結(jié)構(gòu)。此外，還列出了對薄板電阻成像和晶圓掃描應(yīng)用有幫助的參考領(lǐng)域。 技術(shù)參數(shù)： P-TTT-2-1200 值 襯底材料 High-resistivity FZ silicon, 2-side polished 襯底電阻率 > 10 kOhm cm 目標(biāo)總尺寸 2" x 2" (50 mm x 50 mm) 襯底厚度 525 µm 鍍膜材料 Cr, Au 鍍膜厚度 Cr: 10 nm, 50 nm and 60 nm (in semi-transparent areas) Au: 50 nm (opaque) 三條紋正交對結(jié)構(gòu) 2 – 1200 µm wide lines & spaces 45° rotated for 2 - 460 µm wide line & spaces 西門子星型 6 mm outer diameter, 18 elements 倒牛頓環(huán) 5.6 mm outer diameter Ring widths from 10 – 500 µm in increasing steps 連續(xù)Rsh參考區(qū)域 Four areas, each 6.7 mm x 8.3 mm 傾斜的金屬光柵區(qū)域 Six areas, each 2 mm x 6.7 mm Tilting angles: 0°, 18°, 36°, 54°, 72°, 90° 蝴蝶結(jié)型陣列超材料 300 µm length, 5µm gap 非對稱雙狹縫陣列超材料 3 µm and 6 µm slit width and spaces
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