詳細介紹 NightN光學表面形貌測試儀HION ： 光學測試儀HION用于光學表面測試。該技術(shù)基于 Shack-Hartmann 方法。激光束從被測光學表面反射并進入 Shack-Hartmann 波前傳感器進行進一步處理。 產(chǎn)品規(guī)格： 1. 光學孔徑：10 至 50 mm（可選300 mm） 2. 測量時間：10 ms 3. 測量精度：32 nm (P-V) 4. 測量偏差：5 µm（P-V） 5. 光源：二極管激光器 6. 光源波長：0.65 µm 7. CCD/CMOS相機 結(jié)果輸出： 1. 峰-谷誤差P-V，均方根（RMS） 2. 將像差展開為Seidel 和 Zernike 多項式（傾斜、散焦、像散等） 3. 2D 和 3D 波前，干涉條紋
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