進水條件

市政自來水（溫度5-40℃，壓力1.0-1.5bar）

產水量

15L/H

產水水質

初級純水—電導率<5μs/cm@25℃(典型值)符合GB6682-III級

超   純水—電阻率≥18.2MΩ.cm@ 25℃
總有機碳（TOC）<10ppb
顆粒（>0.22μm）<1Particulates/ml
細菌< 0.1 cfu/ml

水質監(jiān)控方式

標配在線LCD電導/電阻率監(jiān)控

取水流速

2L/min

外形尺寸

             主  機      423×445×280mm(W×H×D)
     三聯(lián)預處理單元 400×105×365mm(W×H×D)
水箱（儲壓式）20L-450×300mm(H×D)
                      40L-600×400mm(H×D)

電源功率

220V/100W