詳細(xì)介紹
高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。
通過(guò)高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心"。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率"的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能"
*1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器"
*1它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1:自選
特點(diǎn):
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)"*4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能"*4
*2:和日立SEM S-3400N相比
*3:根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
*4:自選
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