liteScope™

LiteScope™是一種的掃描探針顯微鏡（SPM）。 它設計用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。 組合互補的SPM和SEM技術使其能夠利用兩者的優(yōu)勢。使用LiteScope™及其可更換探針系列，可以輕松進行復雜的樣品分析，包括表面形貌，機械性能，電性能，化學成分，磁性能等的表征。LiteScope™的設計還使其可以與其他SEM配件結合使用聚焦離子束（FIB）或氣體注入系統(tǒng)（GIS）用于制造納米/微結構和表面改性。在這種組合中，LiteScope™可對制造的結構進行快速簡便的3D檢測。此外，LiteScope™開辟了一個全新的測量技術領域，可實現(xiàn)相關顯微鏡，即所謂的相關探針和電子顯微鏡（CPEM）。 CPEM技術是市場上的技術。 它可以在同一個地方進行SPM和SEM測量，同時，使用相同的協(xié)調系統(tǒng)。 只有CPEM技術才能為您帶來SPM和SEM技術相關成像的全部優(yōu)勢。

特點

? LiteScope™可提高性能的SEM升級

• 可作為現(xiàn)有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用

• 的相關探針和電子顯微鏡（CPEM）技術

• 復雜的表面表征- 形貌，粗糙度，磁性，導電性，電性能

• 自感應探頭，無需光學檢測，無需激光調整
  

• LiteScope™易于安裝到SEM的樣品臺上/從樣品臺中取出

• 兼容FIB，GIS，EDX等配件

• 在傾斜位置（角度0°-60°），最小工作距離5毫米

• 可伸縮的測量頭可釋放樣品周圍的空間

• 市售探針，種類繁多測量模式

• 快速簡便地更換探頭和樣本

• 用戶友好的軟件，在網絡瀏覽器中操作，輕松遠程訪問

• LiteScope™也可作為獨立的SPM使用

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• 相關探針和電子顯微鏡 - CPEM

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LiteScope™是現(xiàn)有SEM儀器工作方式的*增強功能。 但是，還有更多的內容。相關顯微鏡結合了使用兩種不同技術對同一物體成像的好處。來自單獨圖像的數(shù)據(jù)的相關性提供了關于樣本的更詳細信息，否則這些信息將太復雜而無法分析。NenoVision開發(fā)了的技術-相關探針和電子顯微鏡（申請中）-用于相關成像。CPEM能夠通過SEM和SPM確定樣品區(qū)域的表面特征同時使用相同的協(xié)調系統(tǒng)。






CPEM技術能夠以迄今尚未獲得的方式對標準SEM和SPM方法進行相關成像。CPEM同步掃描區(qū)域，分辨率和圖像失真，并實時關聯(lián)采集的SPM和SEM圖像。

使用已知恒定偏移和相同分辨率的同時掃描可確保在同一表面上執(zhí)行分析?？梢允褂梦覀兊?/span>NenoView軟件在線直接查看生成的圖像。