在微電子和半導(dǎo)體行業(yè)中，檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關(guān)重要。檢測缺陷的速度越快，您做出響應(yīng)的速度也就越快。

視場寬敞 30%

DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場幫助您的團(tuán)隊(duì)更快地識(shí)別缺陷，提高您的收益率。充分利用的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對(duì)所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級(jí)下提供真彩色成像。

在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像

自由調(diào)節(jié)

無需更換燈泡 – 無停機(jī)時(shí)間

可復(fù)制的結(jié)果

由于 LED 使用壽命長，耗電量低，因此還具有巨大的成本節(jié)約潛力。

光學(xué)“高手"

DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價(jià)格享受到的光學(xué)性能。

采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面、邊緣或碎屑：以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品，從而實(shí)現(xiàn)各種形貌的可視化。

借助深暗場對(duì)比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。

您將對(duì)明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。