詳細(xì)介紹
BY-158J金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開發(fā)的,作為高級(jí)金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其性能,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)。本儀器采用了反射和透射兩種照明形式,在反射光照明下可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場(chǎng)觀察。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì),使您在工作中感到舒適和放松。
| 技術(shù)規(guī)格 | | |
| 觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm) | |
| 目鏡 | WF10×/25mm | |
| WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | | |
| 物鏡 | 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作. 距離明暗場(chǎng)物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、 10×/0.25B.D/W.D.16mm、20×/0.40B.D/W.D.10.6mm、40×/0.60B.D/W.D.5.4mm、 | |
| 轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔四孔轉(zhuǎn)換器 | |
| 平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) | |
| 平臺(tái)尺寸: 189mm×160mm | | |
| 移動(dòng)范圍:80mm×50mm | | |
| 濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性) | |
| 聚光鏡 | N.A.1.25阿貝聚光鏡帶可變光闌和濾色片 | |
| 調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu).微動(dòng)格值0.002mm | |
| 光源 | 透射照明:鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) | |
| 落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/50W,AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié) | | |
| 偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 | |
| 檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)量尺 | |
| 選配附件 | 落射照明:鹵素?zé)?2V/100W, AC85V-230V,亮度可調(diào)節(jié) | |
| 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | | |
| 測(cè)微目鏡 | | |
| 130萬(wàn)、200萬(wàn)、300萬(wàn)、500萬(wàn)像素CMOS電子目鏡 | | |
| DIC(10×、20×、40×、100×) | | |
| 彩色1/3寸CCD 520條線 | ||
特點(diǎn)說(shuō)明
1. 采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2. 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,DIC并在 每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3. 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4. WF10×(Φ25)超大視野目鏡,長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
5. 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
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