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廣東太安檢測設備有限公司
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更新時間：2026-05-26 08:03:55瀏覽次數(shù)：87次
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電子光學系統(tǒng)1、二次電子分辨率：0.4nm@15kV
電子光學系統(tǒng)
1、二次電子分辨率：0.4nm @15kV；0.7nm @1kV；0.8nm @500V；1.2nm @200V；
2、大束流二次電子分辨率：1.9nm@15kV（工作距離10mm，束流6.5nA下）
3、大工作距離分辨率：工作距離WD=10mm時，1kV下分辨率1.0nm；
4、電子束流范圍：最小束流1.0pA，束流50nA；
5、光闌：自加熱式光闌，可保證清潔和無接觸式光闌更換；
7、采用肖特基熱場發(fā)射電子槍；
樣品室和樣品臺
1、樣品室：內(nèi)寬340mm，分析工作距離10mm，端口12個；
2、樣品臺：五軸馬達驅(qū)動，X移動范圍110mm，Y移動范圍110mm，Z移動范圍65mm，T傾斜角度-15°～+90°，n*360°旋轉(zhuǎn)；
3、配備電子束減速模式：樣品臺偏壓范圍-4000V至+600V；
4、配備極靴清理模塊,用于清洗極靴內(nèi)部的灰塵顆粒等污染物；
探測器和相機
1、樣品室二次電子探測器1個；
2、透鏡內(nèi)二次電子探測器1個；
3、透鏡內(nèi)高敏感背散射電子探測器1個，可在50V電壓下采集背散射電子圖像，適用于各類不導電和導電樣品背散射電子圖像觀察；
4、鏡筒內(nèi)高分辨二次電子探測器1個，可探測樣品電位襯度；
5、電子束束流計1個；
6、紅外CCD相機1個；
7、宏觀導航相機（安裝在樣品倉內(nèi)）1個，視野160*105mm，3072*2048像素，具備自動圖像采集、數(shù)字變焦、圖像注釋、圖像保存功能；
8、獨立探測器和相機的數(shù)量7個；
數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)
1、圖像存儲分辨率：60k ×60k像素（非疊加下）；
2、一鍵實現(xiàn)光路自動合軸、自動消像散及自動聚焦；
3、四活動窗口顯示，可同時顯示4幅不同探測器圖像；
應用軟件
1、配置自動圖像拍照和拼接軟件，可實現(xiàn)不小于7×24小時無人值守自動拍照和圖像拼接，可實時對已選定視場進行回溯；
2、電鏡操作應具備取消重做功能，可返回任意一步操作；
3、具有樣品臺圖像導航功能，雙擊鼠標移動樣品功能，鼠標拖曳式放大及對中功能；
4、具有基礎操作應用的向?qū)В褂贸溄硬僮麟婄R，實現(xiàn)新手快速入門；
電制冷能譜儀
1、探測器：硅漂移（SDD）電制冷探測器，60平方毫米有效面積；
2、能量分辨率：在100,000CPS條件下Mn Ka保證優(yōu)于129eV；
3、自動譜峰識別和用戶輔助手動譜峰識別，動態(tài)無標準定量；
4、自動馬達臺控制能譜儀的伸縮，確保能譜儀能自動到達理想探測位置；
離子濺射儀
可對樣品進行鍍金，適用于場發(fā)射掃描電子顯微鏡觀察
附屬配件
1、碳導電膠5卷，銀膠1管，標準樣品臺100個；
2、UPS電源，10KVA，續(xù)航1小時；
圖片
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