F1.5，N0.7，F(xiàn)N1.5

F2

F5，N2.5，F(xiàn)N5

F15

F

N

F

F

N

F

EPK測(cè)厚儀測(cè)量范圍

0-1.5mm

0-0.7mm

0-2mm

0-5mm

0-2.5mm

0-15mm

使用范圍

小工件，薄涂層，跟測(cè)量支架一起使用

粗糙表面

標(biāo)準(zhǔn)探頭，使用廣泛

厚涂層

測(cè)量原理

磁感應(yīng)

電渦流

磁感應(yīng)

磁感應(yīng)

電渦流

磁感應(yīng)

信號(hào)處理

探頭內(nèi)部32位信號(hào)處理（SIDSP）

度

±（1μm 0.75%讀值）

±（1.5μm 0.75%讀值）

±（5μm 0.75%讀值）

重復(fù)性

±（0.5μm 0.5%讀值）

±（0.8μm 0.5%讀值）

±（2.5μm 0.5%讀值）

低端分辨率

0.05μm

0.1μm

1μm

zui小曲率半徑（凸）

1.0mm

1.5mm

5mm

zui小曲率半徑（凹，外置探頭）

7.5mm

10mm

25mm

zui小曲率半徑（凹，內(nèi)置探頭）

30mm

30mm

30mm

zui小測(cè)量面積

Φ5mm

Φ10mm

Φ25mm

zui小基體厚度

0.3mm

40μm

0.5mm

0.5mm

40μm

1mm

連續(xù)模式下測(cè)量速度

每秒20個(gè)讀數(shù)

單值模式下zui大測(cè)量速度

每分鐘70個(gè)讀數(shù)