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詳細介紹
一、用途：
TGP-50C明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中的檢測儀器之一.
二、技術參數(shù)
1.目鏡
| 類 別 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | φ18 |
2.物鏡
| 類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離（mm） |
| 長工作距離平場消色差物鏡 | 5X(明場) | 0.12 | 18.3 |
| 10X(明暗場) | 0.25 | 8.9 | |
| 20X(明暗場) | 0.40 | 8.7 | |
| 40X(明暗場) | 0.60 | 3.7 | |
| 80X(明場) | 0.80 | 0.96 |
3.光學放大倍數(shù)：50X -- 800X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-5000X
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：二層機械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素燈，亮度可調
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：二層機械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素燈，亮度可調
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字攝像頭
三、系統(tǒng)組成
大平臺硅片檢測顯微鏡(TGP-50C): 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、500萬高像素攝像頭4、計算機(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(TGP-50C)：50--5000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片測量軟件TX-3000C 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)
| 電腦型硅片顯微鏡 TGP-50C | |
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