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硅片熱臺(tái) RT400XRD

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更新時(shí)間:2022-07-08 13:51:50瀏覽次數(shù):340

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硅片熱臺(tái) RT400XRD

詳細(xì)介紹

溫度范圍:室溫~400℃

加熱平臺(tái):φ200mm

平面射角:-40°≤α≤40°,射線垂面射角:-2°≤β≤70°

升溫速率<5℃/min

主測(cè)溫:熱電偶,紅外測(cè)溫(輔助)

溫度顯示/控制精度:0.1℃/0.5℃

實(shí)驗(yàn)環(huán)境:腔體密閉,可充氣氛

冷卻方式:循環(huán)水冷

溫度控制:調(diào)節(jié)器精度0.2級(jí),PID人工智能控制,50段程序

溫控軟件:中英文界面切換,實(shí)時(shí)操控,多點(diǎn)溫度校正、可設(shè)置溫速、控溫區(qū)間等,工藝曲線顯示與記錄

運(yùn)動(dòng)控制儀:一軸熱臺(tái)水平移動(dòng),一軸熱臺(tái)旋轉(zhuǎn),一軸紅外測(cè)溫移動(dòng)。手動(dòng)或軟件操控。


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