儀器參數(shù)

測量范圍

X

1200mm或訂制

Y

1000mm或訂制

Z

200mm或訂制

玻璃臺面

1250mm*1150mm或訂制

承重

30kg或訂制

CCD

美國TEO 800TV線工業(yè)高清晰彩色CCD

變焦物鏡

美國PMS連續(xù)自動變倍變焦鏡頭0.7－4.5X(選配同軸光)，無需校正

視頻放大分倍率

影像倍數(shù)30X－200X

工作距離

95mm

顯示分辨率

0.0001mm

運動控制系統(tǒng)：全閉環(huán)控制：三軸伺服馬達全閉環(huán)控制

光柵尺

英國貼片式高精密光柵尺 分辨率： 0.0005mm

重復性

2μm-3um

測量精度

XY≦(2.5+L/300)um，L表示測量的長度，相除的數(shù)字越大儀器精度越高。

外形尺寸（mm)

19500*1500*1600或訂制

儀器重量(kg)

2500 kg

照明

可程控LED表面光及直軸輪廓冷光源（選配同軸冷光源）,亮度可調(diào)

電源

110V-220V±10%  50/60Hz   電流大于10A

量測系統(tǒng)

ZONSON 2D-CNC