AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
特點
適應范圍廣、搭配靈活
高度實用性
高度可靠性
· 精密的靈活性
傳輸各種尺寸的硅片
基于硅片的尺寸，AL120系列有3種基本機型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進行顯微鏡檢查而設計。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。
可以傳輸超薄的硅片，到90um
為了應對更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，奧林巴斯特殊設計了傳輸手臂，可以應對25片裝的200mm的片盒以及到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查。可通過面板最多可預設10種不同厚度的硅片信息。
精密的能力
增強宏觀檢查的功能
款的具備宏觀檢查功能的機臺（LMB型）具有360度自動旋轉而完成硅片的全面宏觀檢查。這一設計可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進行宏觀檢查。
LCD顯示屏提供精度和操作方便性
LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受，使得檢查項目和次序一清二楚，以及安裝調(diào)試所需要設置的參數(shù)也一目了然。檢查結果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧。
精密的可靠性
對于硅片的安全性
AL120采用的兩種硅片檢測方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺的安全性。
*和可靠的顯微鏡
奧林巴斯半導體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場、暗場、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動物鏡轉盤，與顯微鏡主機的孔徑光瀾具有聯(lián)動功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會自動變換。
SEMI S2/S8 和RoHS 標準
AL120設計不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，*符合SEMI的S2和S8標準，同時也滿足了Rohs標準。
規(guī)格表：
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