ZC209 半導體工藝Chiller 冰水機

Chiller  ZC209是一臺對循環(huán)液進行溫度控 制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性 高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信 等豐富功能。采用優(yōu)良的制冷及溫度控制 技術(shù)，具有廣泛的溫度范圍： -20℃ 至+90℃,在半導體制作過程/激光加工機 /分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等 行業(yè)用途廣泛。

應用

應用于半導體、激光、FPD, 如 ：

半導體(蝕刻裝置、CMP、涂布機 ·顯影機、試驗機、清洗機)

激光(激光加工機 ·激光焊接機、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查 裝置、二次電池制造工程)

可適用于廣泛的行業(yè)，如制藥、化工、新能源、半導體、實驗室、高校等多種領域。

特點

· 寬溫度范圍：-20℃~ +90 ℃

· 溫度精度高：靜載時可達 ±0.5℃

· 觸摸屏操作：友好的人機 交互界面，支持遠程通信 操作、歷史數(shù)據(jù)存儲與導 出

· 多重保護：超溫超壓干燒 漏電以及誤操作等多重人 機保護

· 運行穩(wěn)定可靠：元件均采 用器件，自研控制系 統(tǒng)高效穩(wěn)定