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Inficon英?？礐DG025D電容膜片式真空計(jì)

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計(jì)是高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì)設(shè)計(jì)用于在嚴(yán)酷的制造工具環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. *的數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和提供容易操作的特點(diǎn)如一鍵調(diào)零的功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供的零點(diǎn)穩(wěn)定性, 以及引起能達(dá)到數(shù)百萬次壓力循環(huán)包括大氣沖擊的長的使用壽命.*的傳感器屏蔽保護(hù)真空計(jì)防止過程污染. 經(jīng)久耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)提高 EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩(wěn)定性和暴露大氣后的快速恢復(fù)性設(shè)定新的標(biāo)準(zhǔn).

優(yōu)勢：

全量程范圍從100毫乇 … 1000乇

加電源后快速穩(wěn)定性

從大氣壓的快速恢復(fù)性

抗腐蝕的陶瓷傳感器

長期訊號穩(wěn)定性

溫度補(bǔ)償

傳感器有防污染保護(hù)

一鍵調(diào)零功能

寬范圍電源

兩個(gè)設(shè)點(diǎn) (可選)

RS232 接口 (可選)

Inficon英?？礐DG025D電容膜片式真空計(jì)用途：

半導(dǎo)體制造設(shè)備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備

工業(yè)真空設(shè)備

一般高精度壓強(qiáng)測量

技術(shù)規(guī)格

滿量程范圍（Torr）	1000	100	10	1	0.1
精度（在25°C環(huán)境工作溫度下運(yùn)行兩小時(shí)后無非線性,滯后性,再現(xiàn)性的溫度效應(yīng)）	0.2%讀數(shù)				0.5%讀數(shù)
溫度效應(yīng) 在零點(diǎn) 在滿量程	0.005%滿量程/℃ 0.01%讀數(shù)/℃			0.015%滿量程/℃ 0.01%讀數(shù)/℃	0.02%滿量程/℃ 0.02讀數(shù)/℃
分辨率	0.003%滿量程
壓強(qiáng)（壓力）	400Kpa	260Kpa			130Kpa
響應(yīng)時(shí)間	30ms				130ms
低壓強(qiáng)讀值	0.01%滿量程
低建議壓強(qiáng)	0.05%滿量程
低建議控制壓強(qiáng)（排氣節(jié)流閥聯(lián)控時(shí)）	0.5%滿量程
電源電壓功率	+14至+30Vdc ≤1 W
輸出信號	0至+10V模擬量
電氣連接件	D-sub 15針
工作溫度	+5至+50℃
烘烤溫度	≤110℃法蘭處（未運(yùn)行）
安裝方位	垂直水平（要求）
防護(hù)等級	IP30