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高溫真空固化爐

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  • 所在地 蘇州市

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更新時間：2022-09-07 20:07:24瀏覽次數(shù)：573

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產(chǎn)品簡介

高溫真空固化爐

詳細介紹

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體晶圓，硅片制造過程中對聚酰亞胺PSPI一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱的溫度可達450℃

性能特點：
真空度可達10pa
箱體內(nèi)的氧含量：《20ppm，提供氧含量的檢測接口
日本優(yōu)易控制觸摸屏，升溫斜率控制.
內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作。


型號

工作室尺寸

加熱功率

電源電壓

溫度范圍

溫度波動度

氧含量

真空度

H*W*D（mm)

KW

V

℃

℃

ppm

pa

YLPI-1

200*200*400

9

380

常溫~550

±1

20

10

YLPI-2

300*300*600

12

380

常溫~550

±1

20

10









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