制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
一、產(chǎn)品用途：
無(wú)塵無(wú)氧烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，本設(shè)備適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu).
二、性能特點(diǎn)：
1、箱體內(nèi)膽采用優(yōu)質(zhì)SUS304#鏡面不銹鋼材質(zhì)，滿焊接后經(jīng)無(wú)塵化處理，表面潔凈，自身不產(chǎn)塵。2、設(shè)備內(nèi)置進(jìn)口耐高溫高效過濾器，結(jié)合設(shè)計(jì)的熱風(fēng)循環(huán)風(fēng)道，安全可靠的加熱控制系統(tǒng)，配合充氮控制系統(tǒng)，確保工作室內(nèi)達(dá)到class100無(wú)塵無(wú)氧的潔凈防氧化環(huán)境。干燥箱全部采用不銹鋼材料，*的控制系統(tǒng)，使得工作室的溫度更加均勻。
3、氣體系統(tǒng)：采用進(jìn)口耐高溫高效無(wú)框過濾器H.E.P.A，過濾效率 99.997% @0.3UM，
選配：氧含量分析儀，記錄數(shù)據(jù)。6點(diǎn)溫度記錄儀
4、溫控系統(tǒng)：采用宇電觸摸屏PID自動(dòng)演算，溫度精準(zhǔn)度±0.1℃，120組*100段程序，溫度曲線，超溫抑制，傳感器斷線保護(hù)，選配RS485通訊端口。水冷系統(tǒng)。
5、無(wú)氧控制：配置氧含量分析儀（選配）雙流量計(jì)節(jié)氮系統(tǒng)，雙延時(shí)充氮控制，無(wú)氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮?dú)庀牧俊?/span>
制藥網(wǎng)
龙州县|
隆安县|
昭平县|
长垣县|
山东|
石棉县|
秦皇岛市|
万全县|
奉贤区|
潜江市|
会理县|
仁怀市|
温泉县|
轮台县|
彭山县|
拉孜县|
晋中市|
永德县|
和田县|
思茅市|
二连浩特市|
加查县|
淮南市|
牙克石市|
景谷|
水城县|
辽宁省|
内乡县|
依安县|
镇宁|
秭归县|
昌图县|
桑日县|
武邑县|
徐闻县|
成安县|
泰来县|
新野县|
田阳县|
金川县|
西昌市|