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光譜技術(shù)提高寬禁帶半導(dǎo)體生產(chǎn)的良率！| 全球直播
碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、金剛石等寬禁帶半導(dǎo)體材料，正成為電力電子、光電子及量子技術(shù)領(lǐng)域的明星材料。然而，這些材料的性能極易受到內(nèi)部應(yīng)力、應(yīng)變及生長加工缺陷的影響。如何精準(zhǔn)表征這些“隱形殺手”，成為研發(fā)與生產(chǎn)效率提升的關(guān)鍵。
光譜技術(shù)基于其快速、無損、高分辨等特點(diǎn)，已經(jīng)成為半導(dǎo)體材料表征的有力手段。其中，拉曼光譜技術(shù)可以捕捉晶體質(zhì)量、應(yīng)變引起的聲子位移及溫度效應(yīng)，為工藝優(yōu)化提供依據(jù)；光致發(fā)光技術(shù)可以揭示材料電子和光學(xué)特性、雜質(zhì)與缺陷密度，快速判斷器件光學(xué)性能；時(shí)間分辨光致發(fā)光技術(shù)可以表征材料的載流子壽命，提高器件的工作效率與性能穩(wěn)定性；陰極熒光光譜技術(shù)可以對(duì)材料的禁帶寬度、雜質(zhì)、缺陷、應(yīng)力和化學(xué)組成等進(jìn)行分析，優(yōu)化材料性能。
本次線上講座特別邀請(qǐng)了 HORIBA 材料和半導(dǎo)體應(yīng)用科學(xué)家 Michelle Sestak 博士和應(yīng)用科學(xué)家 Praveena Manimunda 博士，帶您深入解析拉曼光譜、光致發(fā)光、時(shí)間分辨光致發(fā)光及陰極熒光等光譜技術(shù)，直擊影響半導(dǎo)體材料生產(chǎn)良率的關(guān)鍵問題。
掃描下方二維碼，讓我們跟隨二位專家，開啟半導(dǎo)體材料表征的探索之旅！
課程信息
課程名稱
光譜技術(shù)提高寬禁帶半導(dǎo)體生產(chǎn)的良率
推薦參加人員
• 半導(dǎo)體材料研究科學(xué)家
• 半導(dǎo)體器件研發(fā)團(tuán)隊(duì)
• 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的分析和質(zhì)控工程師
主講人
Michelle Sestak 博士
HORIBA 材料和半導(dǎo)體應(yīng)用科學(xué)家
Praveena Manimunda 博士
HORIBA 應(yīng)用科學(xué)家
您將了解
• 光譜技術(shù)在半導(dǎo)體研究中的應(yīng)用實(shí)例
• 寬禁帶半導(dǎo)體材料特性與器件性能之間的關(guān)系
• 如何利用光譜技術(shù)優(yōu)化材料性能，提高生產(chǎn)效率
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