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詳細(xì)介紹
功能特點(diǎn)：
n 適用場合：
適用于超LSI制造工廠、半導(dǎo)體制造工廠、原子力研究中心、無塵室、層流設(shè)備、工作臺(tái)等其他要求超高潔凈度的場合。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | 箱體外形尺寸(W×H×D)(mm) | 額定風(fēng)量(m3/h) | 過濾面積(m2) | 容塵量(g) | 初阻力(Pa) | 終阻力（Pa） | 過濾效率0.3μm |
LR-MHF-001 | 484×484×50 | 350 | 4.28 | 250 | ≤150 | 400 | ≥99.97% H13-H14 |
LR-MHF-002 | 610×610×50 | 600 | 6.84 | 410 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-003 | 915×610×50 | 900 | 10.29 | 600 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-004 | 1220×610×50 | 1200 | 13.74 | 800 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-005 | 484×484×69 | 600 | 6.58 | 400 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-006 | 610×610×69 | 1000 | 10.48 | 600 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-007 | 915×610×69 | 1400 | 15.78 | 950 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-008 | 1220×610×69 | 1800 | 21.08 | 1250 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-009 | 610×610×96 | 1600 | 17.88 | 1050 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-010 | 915×610×96 | 2400 | 26.99 | 1600 | ≤150 | 400 | |
LR-MHF-011 | 1220×610×96 | 3200 | 36.12 | 2100 | ≤150 | 400 |
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