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具有基本參數(shù)（FP）的XRF分析可將元素峰強(qiáng)度轉(zhuǎn)換為元素濃度和/或薄膜厚度。可以無標(biāo)樣地執(zhí)行分析，其中所有變量均基于理論方程式，基本參數(shù)數(shù)據(jù)庫以及檢測(cè)器，X射線管和幾何形狀的精確建模。當(dāng)膜厚為10毫米時(shí)，對(duì)于簡(jiǎn)單的大塊或單層薄膜樣品，可以使用無標(biāo)樣模式。 FP分析也可以使用標(biāo)準(zhǔn)品進(jìn)行。這是通過校準(zhǔn)步驟實(shí)現(xiàn)的，其中

每個(gè)元素的XRF響應(yīng)函數(shù)是使用某種已知標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量的。