型號(hào)

SV-3100S4

SV-3100H4

SV-3100W4

SV-3100S8

SV-3100H8

SV-3100W8

測(cè)量范圍/分辨力

Z1  軸

800μm/0.01μm, 80μm/0.001μm, 8μm/0.0001μm

X 軸行程范圍

100mm

200mm

驅(qū)動(dòng)部

X  軸直線度

(0.05+0.001L)μm(L:測(cè)量長(zhǎng)度(mm))

0.5μm/200mm

測(cè)量速度

0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0mm/s

Z2 軸(立柱）

300mm(電動(dòng))*1

500mm(電動(dòng))*1

300mm(電動(dòng))*1

500mm(電動(dòng))*1

評(píng)價(jià)輪廓

原始輪廓,粗糙度輪廓,波形輪廓,濾波輪廓,殘余線輪廓,滾圓波紋度輪廓，滾圓中心線波紋度輪廓,DIN4776 輪廓,粗糙度 motif 輪廓,波形 motif 輪廓

評(píng)價(jià)參數(shù)

Pa,Pq,Psk,Pku,Pp,Pv,Pz,Pt,Pc,PSm,P?q,Pm(rc),Pmr,Pδc,Ra,Rq,Rsk,Rku,Rp,Rv,Rz,Rt,Rc,RSm,R?q,Rm(rc),Rmr,Rδc,Wa,Wq,Wsk,Wku,Wp,Wv,Wz,Wt,Wc,WSm,W?q,Wm(rc),Wmr,Wδc,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rx,AR,R,Wx,AW,W,Wte,Ry,RyDIN,RzDIN,R3y,R3z,S,HSC,Lo,lr,?a,λa,λq,Vo,Htp,NR,NCRX,CPM,SR,SAR,NW,SW,SAW

分析圖表

ADC, BAC 圖 , 功率譜圖 ,  自相關(guān)圖 , Walsh 功率譜圖 , Walsh 自相關(guān)圖 ,傾斜分布圖 ,  局部峰值分布圖 ,  參數(shù)分布圖

曲線補(bǔ)償

傾斜補(bǔ)償 ( 全部 / 前半 / 下半 / 端點(diǎn) / 任意 ) , R 平面補(bǔ)償 ,  橢圓補(bǔ)償 ,拋物線補(bǔ)償 ,  雙曲線補(bǔ)償 ,  錐面補(bǔ)償 ,  多項(xiàng)式補(bǔ)償

濾波

高斯 , 2CR75, 2CR50, 2CRPC75, 2CRPC50, 魯棒樣條

截至波長(zhǎng)

λ s

0.0008, 0.0025, 0.008, 0.025, 0.08, 0.25, 0.8mm

λ c

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25mm,  任意 ( 0.025-50mm ）

λ f

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm,  任意 ( 0.025-50mm ）

λ h

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm,  任意 ( 0.025-50mm ）

λ l

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25mm,  任意 ( 0.025-50mm )

取樣長(zhǎng)度

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25mm,  任意 ( 0.025-50mm )

記錄放大倍率

水平倍率

10X - 500,000X,  自動(dòng)

垂直倍率

0.5X - 10,000X,  自動(dòng)

檢出器

檢出方式

差動(dòng)電感方式

觸針 &  測(cè)力

0.75mN 觸針針尖 ( 錐 ) :  針尖椎角 : 60o,  針尖半徑 : 2μm  

4mN 觸針針尖 ( 錐 ) :  針尖椎角 : 90o,  針尖半徑 : 5μm

電源

測(cè)量主體

100V 50/60Hz

外形尺寸( W×D×H )

測(cè)量主體

756×482×996mm

756×482×1166mm

1156×482×1176mm

766×482×996mm

766×482×1166mm

1166×482×1176mm

重量

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg