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詳細介紹
特點：
◆介質(zhì)和基底的表面粗糙度測量
◆缺陷成像和分析
◆高分辨率電子掃描模式
◆3D結構邊墻測量
◆精確的原子力顯微鏡形貌和低噪音Z探測器
規(guī)格參數(shù)：
| 型號 | Park NX20 | |
| 掃描儀 | XY掃描儀 | 100um*100um(可選10um*10um或50um*50um) |
| Z掃描儀 | 15um(可選30um) | |
| 形貌噪音 | <0.03nm(標準值0.02nm） | |
| 光學 | 物鏡 | 10X（20X可選） |
| 電子 | ADC | 18個頻道 4個高速ADC頻道（50MSPS）24位ADC的X,Y和Z位置傳感器 |
| DAC | 12個頻道 2個高速DAC頻道（50MSPS）20位DAC的X,Y和Z定位3個頻道的集成鎖定放大器 | |
| 樣品臺 | XY平臺行程 | 150mm x 150mm；200mm X 200mm |
| Z平臺行程 | 25mm | |
| 聚焦平臺行程 | 15mm | |
| 樣品尺寸 | 高達150mm或直徑200mm最多厚20mm | |
| 物理信息 | 外形尺寸 | 820mm（長）X920mm（寬）X1280mm（高） |
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