詳細介紹
Form Talysurf 電感式系統(tǒng)特點:
1mm 垂直量程/16nm 分辨率
◆提供精密金屬成形和其他應(yīng)用的形狀(輪廓)以及表面粗糙度測量功能。
200mm 水平驅(qū)動
◆初次應(yīng)用于電感式系統(tǒng),以提供增強的測量量程。也可以標(biāo)準 60mm 和 120mm 版本。60mm 版本允許7x8mm的取樣長度使測量符合 ISO 4288。
0.50um/120mm 直線度誤差
◆適用于高精度輪廓測量(甚至在非常大的組件上)。可選的基準校正包可用于的應(yīng)用。
0.125um 橫向數(shù)據(jù)間隔
◆能夠以的效率測量小型組件和特征??s短了啟動長度和停止長度;進一步提高了可用性。
450mm 機動立柱
◆當(dāng)無法測量到零部件的特征時,機動傾斜版本可用于提供更大的應(yīng)用靈活性。
功能:
◆Form Talysurf 電感式系統(tǒng)包括測量表面粗糙度的所有重要內(nèi)容。包括基本粗糙度和波紋度參數(shù),以及形狀誤差分析、特征去除、縮放工具和車間應(yīng)用的全面可編程性。
形狀分析
◆測量并計算半徑、角度(斜度)和尺寸
簡單的用戶界面
◆結(jié)合系統(tǒng)可編程性,提供正確的車間解決方案;可根據(jù)用戶要 求定制。
雙輪廓分析
◆允許比較測量以確定磨損、公差等。
Ultra 輪廓分析
◆用于尺寸應(yīng)用的單獨軟件實用程序,可以直接比較設(shè)計數(shù)據(jù)和 測量值,并獲得誤差結(jié)果。還可為各種廣泛應(yīng)用提供特殊硬件。
Talymap 3D 分析
◆用于形貌應(yīng)用的單獨軟件實用程序;還需要特殊硬件。
技術(shù)參數(shù):
| 水平性能 | Form Talysurf i60 | Form Talysurf i120 | Form Talysurf i200 |
| 驅(qū)動長度-X值/最小值 | 60mm/0.1mm | 120mm/0.1mm | 200mm/0.1mm |
| 驅(qū)動/測量速度 | 10mm/s值--0.1mm/s,0.25mm/s,0.5mm/s和1mm/s | ||
| X方向的最小數(shù)據(jù)取樣間隔 | 0.125μm [0.1mm到120mm長度] | ||
| 直線度不確定度(Pt) | 0.5μm/60mm | 0.5μm/120mm | 0.75μm/200mm |
| 直線度重復(fù)性(PV) | 0.15μm | 0.15μm | 0.2μm |
| 垂直性能 | |||
| 標(biāo)稱測量量程(Z) | 量程1=1mm,量程2=0.2mm | ||
| 分辨率(Z) | 量程1=16nm,量程2=3.2nm | ||
| 量程與分辨率的比率 | 65,536:1 | ||
| 測針臂長度,針尖大小,測力 | 60mm臂, 2μm半徑錐球形金剛石, 1mN測力 | ||
| Z軸非線性 | (0.05 Z[mm])μm (50Z[英寸])微英寸(Z=傳感器位移) | ||
| Z軸示值重復(fù)性 | 平面-0.05μm,曲面-0.05μm | ||
| 系統(tǒng)性能 | |||
| 球形標(biāo)準器 | 12.5mm(0.49英寸)標(biāo)稱半徑標(biāo)準器 | ||
| 標(biāo)定Pt | 0.25μm | ||
| 系統(tǒng)噪音- Rq | 量程1=15nm,量程2=8nm | ||
| 半徑測量不確定度 | 0.1 - 22mm= 標(biāo)準值的1%到0.015%,22 - 1000mm= 標(biāo)準值的0.02%到0.1% | ||
| 傾角測量不確定度 | 0.5 弧分的不確定度(+ / - 35o量程) | ||
| 尺寸L x D x H (花崗巖基座) | 760x500x120mm | ||
| 機動立柱 | 450mm (17.7英寸)垂直驅(qū)動 | ||
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