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詳細(xì)介紹
系統(tǒng)參數(shù)：
◆原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)
◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡：標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表
◆視場: 跟所選物鏡有關(guān)
◆光源: 長壽命白光 LED，計算機(jī)控制光強(qiáng)
◆物鏡座: 螺紋物鏡座（標(biāo)準(zhǔn)）；
◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具（可選）；電控或手動 4 位物鏡塔臺（可選）。
◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
◆測量陣列: 1024×1024
◆樣件觀察: 軟件集成交互式實(shí)時觀察
◆Z 軸: 100mm 行程，主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度，以優(yōu)化工作距離
◆樣品臺控制: USB 控制器，人體工程學(xué)設(shè)計的拇指控制按鈕，可控制速度和聚焦模式切換
◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動功能
◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°; 手動XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件
◆計算機(jī): 高性能DELL計算機(jī), 寬屏1080P LCD，64位，Windows 7系統(tǒng)
◆軟件: ZeMapsTM
◆尺寸（HWD）: 系統(tǒng)：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機(jī)：82x53x53cm
◆重量: ZeGage 主機(jī)：54Kg; 工作臺：37Kg
性能：
◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)
◆表面形貌重復(fù)性：＜3nm（根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）
◆光學(xué)分辨率（橫向）：0.52um ～9.50um，與所選物鏡有關(guān)
◆掃描速度： ≤ 23 um/秒
◆數(shù)據(jù)點(diǎn)： 1,048,576
◆臺階測量： 準(zhǔn)確度 ≤ 1%； 重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
被測樣品特性：
◆材料： 各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射
◆反射率：1-99%
環(huán)境要求：
◆溫度： 15-30℃
◆溫度變化率： ＜1.0°C/15分鐘
◆濕度： 相對濕度 5%-95%，無凝結(jié)
◆隔振： 不需要
◆振動準(zhǔn)則： VC-C 或有更好的推薦
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