詳細(xì)介紹
| 儀器型號(hào) | HPA/HPD500S | HPA/HPD1000S | HPA/HPD1500S | HPA/HPD2000S | HPA/HPD3000S | ||||
| 測(cè)量范圍 | 0 - 550mm | 0-1050mm | 0-1550mm | 0-2050mm | 0-3050mm | ||||
| 光柵尺長(zhǎng)度 | 0 - 570mm | 0-1070mm | 0-1570mm | 0-2070mm | 0-3070mm | ||||
| HPA全量程允許誤差 | 0.7+(L(mm)/1000)µm | ||||||||
| HPD全量程允許誤差 | 0.5+(L(mm)/1000)µm | ||||||||
| 測(cè)力 | 0-12N連續(xù)可調(diào) | ||||||||
| 重復(fù)性(2S) | 0.2µm | ||||||||
| 分辨率 | 0.1µm | ||||||||
| 移動(dòng)速度 | 1.5m/秒 | ||||||||
| 工作臺(tái) | 可自由沿X方向移動(dòng),測(cè)量無(wú)需輔助支撐 | ||||||||
| 測(cè)量顯示單元 | HPA: 數(shù)據(jù)處理顯示器 / HPD: PC電腦數(shù)據(jù)處理系統(tǒng),LCD液晶顯示器 | ||||||||
| 頭座微調(diào)范圍 | 10mm | ||||||||
| 環(huán)境溫度 | +10℃ - +40℃ | ||||||||
| 環(huán)境濕度 | 20% - 80% | ||||||||
| 重量 | 130kg | 180 kg | 220 kg | 260 kg | 320 kg | ||||
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