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大塚電子（蘇州）有限公司
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大塚電子（蘇州）有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
聯(lián)系方式：廖海榮查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-10-15 07:51:30瀏覽次數(shù)：147次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 制藥網(wǎng)本公司的MCPD series在線膠卷評價(jià)系統(tǒng)，由于光學(xué)式非接觸·非破壞的膜厚，濃度，顏色等的檢查可能?？蓽y定膜厚范圍為65nm～92μm和薄膜到厚膜都對應(yīng)。（折射率1.5時(shí)）測量原理為分光干涉方式，在實(shí)現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時(shí)，還支持多層厚度測量。由于采用了獨(dú)自算法，可以高速實(shí)時(shí)監(jiān)控，所以作為在線膠片監(jiān)控，我們提出了的系統(tǒng)。...
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 工藝過程中的薄膜高速測量
●最短曝光時(shí)間1ms～※根據(jù)規(guī)格
●支持遠(yuǎn)程測量
●膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）
基本配置
多點(diǎn)測量點(diǎn)切換對應(yīng)系統(tǒng)
在多點(diǎn)測量點(diǎn)切換對應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布?？梢宰鳛橥繉拥臈l件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式，通過光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測定。
橫動(dòng)單元對應(yīng)系統(tǒng)
在橫動(dòng)單元對應(yīng)系統(tǒng)中，通過在TD方向上驅(qū)動(dòng)橫動(dòng)單元，可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。
可以作為涂層條件提出和實(shí)時(shí)監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測量，因此無需準(zhǔn)備多臺(tái)檢測器和數(shù)據(jù)處理。
即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測定
通過使用各種法蘭對應(yīng)的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射、透射光譜。
另外，膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動(dòng)的影響，并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨(dú)自的算法，可以作為實(shí)時(shí)監(jiān)視器使用。
式樣
MCPD-9800仕様
MCPD-6800仕様
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