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東莞帕薩電子裝備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：16條

所在地區(qū)：廣東東莞市

注冊(cè)時(shí)間：2021-11-12

最近登錄：2021-11-12

產(chǎn)品分類 品牌分類

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石墨烯、碳納米管材料CVD設(shè)備石墨烯、碳納米管材料納米材料CVD設(shè)備Graphene、Nano-materialsCVD產(chǎn)品介紹該設(shè)備主要用于石墨烯、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝

石墨烯、碳納米管材料CVD設(shè)備
石墨烯、碳納米管材料納米材料CVD設(shè)備 Graphene 、Nano-materials CVD

產(chǎn)品介紹
該設(shè)備主要用于石墨烯、納米材料工藝涂層、多晶硅、碳化硅、擴(kuò)散、氧化、退火等工藝。

主要技術(shù)指標(biāo)

結(jié)構(gòu)型式	臥式，單管或多管系統(tǒng)自動(dòng)控制
適應(yīng)晶片尺寸	2-8″
送取片方式	自動(dòng)懸臂石英推拉舟，配合手動(dòng)取、放片方式。
溫度	1050℃
工作溫度	400℃~850℃連續(xù)可調(diào)
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性	400℃~850℃≤±0.5℃/24h
系統(tǒng)極限真空度	優(yōu)于1Pa
抽速	抽限真空時(shí)間＜15Min
工作壓力范圍	5Pa到1×10⁵Pa連續(xù)可調(diào)
供電電源	三相五線380V±10%，50Hz
冷卻水	2~4Kgf/cm²，8L/min;