詳細(xì)介紹
概述
使用嶄新的技術(shù),提供高速度與精確度,建立出可靠以及可信賴的測(cè)量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測(cè)量軟件,可程式化的光學(xué)變焦,3X的數(shù)碼變焦,非線性平臺(tái)補(bǔ)償,非線性光學(xué)補(bǔ)償,*的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測(cè)儀。
InSpec測(cè)量軟件功能*:使用鼠標(biāo)就能輕松編寫程序,專有的系統(tǒng)尋邊功能,*的光源控制及校正功能,與復(fù)合傳感器結(jié)合,自動(dòng)校正,可清晰顯示測(cè)量資料及公差。
規(guī)格表
| 型號(hào) | 測(cè)量行程(mm) | XY軸精度(μm) | Z軸精度(μm) | 分辨率 | 承載重量 | 外觀尺寸(mm) |
| Excel 1051UM/UC | 1050x1050x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x1608 |
| Excel 1052UM/UC | 1050x1050x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x1788 |
| Excel 1054UM/UC | 1050x1050x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x2088 |
| Excel 1601UM/UC | 1050x1650x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x1608 |
| Excel 1602UM/UC | 1050x1650x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x1788 |
| Excel 1604UM/UC | 1050x1650x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x2088 |
| Excel 1651UM/UC | 1250x1650x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x1608 |
| Excel 1652UM/UC | 1250x1650x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x1788 |
| Excel 1654UM/UC | 1250x1650x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x2088 |
| Excel 200UM/UC | 1250x2000x200 | 5.0+L/200 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1905x3084x1753 |
| Excel 250UM/UC | 1600x2500x200 | 5.0+L/200 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 2260x3810x1753 |
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