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JT系列磁控濺射鍍膜機(jī)

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更新時(shí)間：2021-08-30 10:51:51瀏覽次數(shù)：516

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JT系列磁控濺射鍍膜機(jī)

詳細(xì)介紹

型號(hào)項(xiàng)目
JT-500
JT-900
JT-1400
真空室尺寸　　　mm
Φ500×520
Φ900×1400
Φ1400×1570
極限壓力　　　　Pa
5×10-3
工作壓力　　　　Pa
1.2×10-2
恢復(fù)真空時(shí)間 　min
15（從大氣～10-3Pa）
20（從大氣～10-3Pa）
工件轉(zhuǎn)動(dòng)　　　　rpm
10～15
公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)無(wú)級(jí)調(diào)速
工作氣體
Ar 純度99.99%
功率 　 　KVA
10
30
55
冷卻水用量 t/h　　　
1
2
3

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